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Jenoptik baut Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage in Dresden

dpa-AFX

JENA (dpa-AFX) - Der Jenoptik <DE0006229107>-Konzern baut in Dresden eine Anlage zur Herstellung von Sensoren für die Halbleiterausrüstungsindustrie. Die Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage solle Mitte 2022 in Betrieb genommen werden, teilte das Unternehmen am Dienstag in Jena mit. Es werde ein zweistelliger Millionenbetrag investiert, hieß es. Genaue Angaben wurden dazu nicht gemacht. Die Fertigungsanlage werde ein Kernelement bei der Entwicklung und Produktion anspruchsvollster Präzisionssensoren bilden.