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Gemeinsame Entwicklung von Metalloxid-Resist durch Inpria und SK hynix für Reduzierung der Patterning-Komplexität für DRAM der nächsten Generation

TOKIO, August 02, 2022--(BUSINESS WIRE)--JSR Corporation gab heute die Beschleunigung ihrer gemeinsamen Entwicklung mit SK hynix Inc. bekannt. Dabei wird Inpria, ein Unternehmen von JSR, den Extrem-Ultraviolett-Metalloxid-Widerstand (MOX-Widerstand für EUV) für die Herstellung moderner DRAM-Chips einsetzen. Die breit patentierte Metalloxid-Photoresist-Plattform für EUV von Inpria ermöglicht Kunden eine effiziente Strukturierung von Bauteilarchitekturen in fortgeschrittenen Knoten.

Die Materiallösungen von Inpria bieten die erforderliche Leistung, um die Kosten der EUV-Strukturierung deutlich zu senken, und sind mit bewährten Prozessen und Anlagenkonfigurationen kompatibel. Der MOX-Widerstand von Inpria kann durch ein Standard-Spin-Coating-Verfahren aufgebracht werden.

„Die EUV-Fertigung ist komplex und erfordert hochmoderne Materialien", sagte BK Lee, Leiter der Abteilung Forschung und Entwicklung bei SK hynix. „Zinnoxid-Widerstände sind vielversprechend, um sowohl die Leistung als auch die Herstellungskosten für die nächste Generation moderner DRAMs zu senken."

„Die Technologie von JSR basiert seit jeher auf Materialinnovationen", so Tadahiro Suhara, Managing Officer bei JSR. „Wir wollen unbedingt die Technologie-Roadmap von SK hynix beschleunigen, indem wir das effiziente Drucken von kleinsten Merkmalen ermöglichen. Die Wissenschaft ist bahnbrechend, aber das gilt auch für die Wirtschaft."

EUV wird bereits in der kommerziellen Produktion in den fortschrittlichsten Lithografieverfahren der Halbleiterfertigung eingesetzt. Da die Industrie zu kleineren kritischen Abmessungen in der Chipfertigung übergeht, wird erwartet, dass ihr Einsatz deutlich zunehmen wird.

Inpria ist führend bei Metalloxid-EUV-Widerständen und hat mit EUV-Belichtungssystemen die weltweit höchste Auflösung erreicht. JSR erwarb Inpria 2021 und investiert angesichts der zunehmenden Verbreitung von EUV in den Ausbau der Produktionskapazitäten und des Kundensupports für die Großserienfertigung.

Über die JSR Corporation

JSR Corporation ist ein Unternehmen im Bereich der Präzisionstechnologie, das wissenschaftliche Fortschritte ermöglicht und ihre praktische Anwendungen realisiert. JSR hat seinen Hauptsitz in Tokio, Japan, und stellt sich den anspruchsvollsten technologischen Herausforderungen als globaler Zulieferer für Kunden in Spitzenindustrien. Unsere Produkte und Dienstleistungen ermöglichen Fortschritte bei den Halbleitern, die unsere Welt antreiben, beschleunigen die Entwicklung neuer Therapien für lebensbedrohliche Krankheiten und vieles mehr. Um mehr darüber zu erfahren, wie JSR die Gesellschaft weltweit bereichert und die Lebensqualität verbessert, besuchen Sie bitte www.jsr.co.jp.

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Missy Bindseil
mbindseil@jsrmicro.com
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